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有了这个基本的思路,他们就可以开始设计了。微型机械臂对他们来说没有什么难度。他们早就有全自动机械臂技术了,现在只不过要求缩小,在他们的纳米级加工工艺面前,完全可以说不费吹灰之力。

还有一项关键技术,那就是激光焊接技术。芯片封装要求速度非常快,因为每一片芯片需要焊接的部位都很多,因此如果焊接速度太慢了,那么这套设备就失去了意义,成本都赚不回。而全自动激光焊接技术就能达到就个标准。再加上达到了纳米级别的极深紫外线激光束焊接技术,不仅精度非常高,而且对芯片的损伤会非常小,相应的也就提高了成品率。

机械技术研究院是在现有的技术上进行设计的,因此,研制封装设备没有困难。他们直接进入了设计阶段,相信很快就会出成果。

软讯公司负责的自动检测程序,则要困难许多。他们是在没有任何了解的基础上设计,主要协他们的是电子研究所,他们得先了解各电路图的功能。最主要的是以后还有更先进更复杂的电路,他们不可能每一款芯片都单独设计一套检测软件。可以说,他们啃的才是真正的硬骨头。但是没有人能帮助他们,不管是在长胜投资集团内部还是整个中国,他们都是孤独的前行者。

九五年的开头,长胜投资集团旗下的各企业集团和研究院所都很忙碌。为老板的沈丹青也很忙碌,他需要批复的文件更多了。他想一心一意的办公,可是有时候麻烦事却自动到找上门来。就在在沈丹青正在认真地工的时候。

“老板,朱书记找你。”

办公桌上的内部通话扬声器里传出了刘秘书的声音。

“接进来”沈丹青吩咐道。

“喂,我是沈丹青。朱书记,你找我。”

在“嘟”的一声响之后,沈丹青先自报家门。

“沈总,听说你们公司在长沙投巨资建了一个独立的工业园。不知道,我的消息准不准确啊”朱书记的语气中透露出一股浓浓的兴师问罪的意思。

沈丹青知道麻烦来了,他必须向朱书记解释清楚,否则会跟政府留下深深的隔阂,对长胜投资集团以后的发展会非常不利。

“朱书记,电话里说不太清楚,我马上到市委来,当面详细的向你解释清楚,可以吗”沈丹青用诚垦的语气向朱书记解释道。

“好吧我老头子就当面聆听你的高见吧我们待会儿见。”

朱书记的语气还是非常不善,他讲完这句话就挂断了电话。

沈丹青挂掉电话没有马上动身,而是在办公室里,先组织好等下要讲的理由。考虑再三,觉得什么漏洞了,才走出自己的办公室,对正在外间办公的刘秘书说道:“刘秘书,跟我去一趟市委。”

“好的,老板。”

刘秘书没有问为什么而是立刻起身随行。朱书记打来的电话肯定是有要事,他都顾不得找人代替他的工了。

刘秘书,既是他的秘书。也是他的专职司机。沈丹青到哪都会带上他。

九几年的惠州市还不大。从长胜投资集团总部大厦到惠州市委,只有不到十公里的路程,开车不到2o分钟就到了。

惠州市委市政府座落在美丽西湖之畔,风景非常优美。市委市政府是共用一个大院,两栋办公楼。沈丹青没有浪费时间直接去了书记办公室。

要见朱书记,首先得到朱书记秘书的办公室,朱书记的秘书姓胡。书记的秘书可不简单,他一般挂职市委办公室主任,有的资历高的,甚至是市委副秘书长。

“胡主任,麻烦你帮我通报一下,我跟书记约好了。”

沈丹青对正看着他走进来的胡秘书说道。

“哦原来是沈总,难得,难得啊你稍等,我马上帮你通报。”

胡秘书认识沈丹青,为了调节气氛,还跟他开了一个小小的玩笑。

沈丹青这次来是早就约好的,也可以说是来负荆请罪的。因此没有任何意外,朱书记马上让他进去了。

“朱书记,在忙啊”走进朱书记的办公室,沈丹青先简单的打了一下招呼。

“你沈总大驾光临,我再忙也得抽时间见啊”朱书记嘴里调侃了他一句,然后站起身来,走到沈丹青身边,右手虚引说道:“沈总,我们坐下聊,我很想听听你的理由。”

沈丹青没有急着回话,而是坐下来之后,才好整以瑕的说道:“朱书记,说来话长,去长沙投资建立工业园,我们原先是没有这个计划的。也不想再麻烦去另外一个陌生的地方建工业园。要知道长沙的交通条件和地缘便利条件都比不过惠州,甚至是政治环境都比不过惠州。那我们为什么还要去长沙投资呢这一切还得从我们的科研成就根源说起。说句不谦虚的话,就是因为我们太优秀了,我们许多科技,都达到了世界领先。朱书记,你也知道,民用工业在战时也是可以转为国防工业的,到那时我们公司就是敌人重点打击目标。因此,我打算将一些重工业和高科技工业搬迁到身处内陆腹心的长沙。不过,朱书记,请你放心。建立在长沙的工业基本上是基础工业,也就是说不直接创造效益的,真正的生产和组装工厂,还是在惠州。你也知道,我们的产品是要出口的,在长沙根本就不行。也就是说,我们企业创造的产值,还是在惠州。我们不是要放弃这里,相反还要不断的加强,我们还会在惠州建立各式各样的企业,长胜投资集团在惠州的投资未来的规模会越来越大。朱书记,我这样讲你明白了吗”

“难道非得去内陆建立不可吗”朱书记虽然完全懂了,但还是有点不甘心地问他道。

“朱书记,没办法,这是必然的选择,我们现在不准备,以后还是一样的要搬,到时造成的损失就大到没边了。是我们这样的私营企业所无法承受的。况且,基础工业是不能直接创造产值的,也就是说,它是没有俱体的恒量标准收税的,我们把它们建立在内地,对惠州没有什么直接影响。”

朱书记不甘心,沈丹青只好继续苦口婆心地解释道。

“好吧我会跟常委会的其他同志解释的,不过,沈总,你们以后有什么动,一定要事先跟我们勾通,以免造成不必要的误会。”

朱书记终于松口,总算是原谅了沈丹青不告而行的自做主张,并且最后还不忘警告沈丹青。

九几年的中国,投资环境还不是那么的公平。特别是民营企业,政府有能力有办法,分分钟教会你怎么做人。这种政府极端揽权现象要到2千年之后,胡总上台,才有基本的改观。这也是为什么沈丹青一直保持低调的原因。

第120章:干法蚀刻

总算是给政府解释清楚了,不管他们到底相不相信,起码不会立马图穷匕现了,这是他最担心的。说实话在九几年的中国,最多的钱,也不能保证完全安全。政府还是专政机关,外资企业要好点,毕竟他们受自已国家的法律保护,一般的父母官不敢乱来。

从市委朱书记那里告辞,回到公司后,沈丹青吓得出了一身冷汗,幸亏他说服了朱书记,否则长胜投资集团就有可能止戈成沙了,这可不是开玩笑。当然啦也幸亏这件事上了中央新闻,有可能被高层领导关注了。政府可能也有这方面的顾虑,总之这件事情算是过去了。

这件事情过后,长胜投资集团总算是过了一个坎。沈丹青也更加希望能快点将总公司搬去长沙,于是他更加频繁地向王全福了解长沙工业园的筹备情况。

王全福真是哭笑不得,才刚开始派人去,能有多大的进展,他们第一期选址都还没开始呢因此他只好亲自上来,耐心地跟老板解释:“老板,他们还在考察地形,,总得做一个全局的规划,否则以后会顾此失彼。”

“好吧是我心急了,你让他们仔细地规划吧有了结果再告诉我。”

沈丹青承认自己心急了,正所谓关心则乱,得好好冷静冷静了,他在心里对自已说。

“好的,老板。我有消息会第一时间告诉你的。如果没什么事,我就告辞了,公司还有一大摊子事等我处理呢”王全福不敢说老板是乱弹琴,只是说自已很忙,言下之意就是告诉老板,不要下乱命令,耽误别人的正事。

“嗯你回去吧”沈丹青轻轻的挥了挥手,意兴珊阑的说道。

时间是一记很好的抚慰剂,任何坏事在它的冲刷下都会慢慢的失去威力,直至被人民淡忘。不知不觉又过了一个多月。在这段时间里,长胜投资集团旗下各企业集团和单位却都发展顺利。

首先是机械技术研究院和长胜精工,研制成功了芯片封装设备。这套设备与国外的同类设备有一点点不同,他不是采用什么传带式的流水线。而是釆用他们熟悉的轨道直线电机,上面安装自动机械臂的输送方式,等于是初级的智能机器人。自动机械臂上安装有真空吸盘,盛放硅晶圆的托盘就被牢固的吸附在吸盘上。整个输送过程,都不需要直接接触芯片,未封装的芯片是非常脆弱的,稍有不注意,就会造成机械损伤,甚至是报废。另外,他们这套设备效率非常高,是完全的自动化,不需要人工参与,因此能保证厂房里面的灰尘降到最低。整个厂房几乎是密封的,没有人员进入,灰尘当然就少了。

物理研究所的胡所长领导的离子注入机事业部,也传来了喜讯。他们终于研制出了正式的离子注入机设备。能给沈丹青报来喜讯,当然已经是非常成熟的设备了。他们还算是运气好,幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子加速器,这两样科研设备。否则如果让他们从新研究,就不知道要研究到什么时候了。他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。

到了此时,就只剩自动检测程序没有完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了一下,得知他们的任务非常困难,非短时间所能解决。于是他做出了一个决定,让这套芯片生产设备开始试制芯片,有什么问题尽量在生产中发现。用财力促进加速芯片技术的发展。前期的问题肯定很多,这些都是自动检测程序的宝贵的资料。

没有自动检测程序,需要人工检测,芯片生产速度当然非常慢。就像木桶理论所说的一样,整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不过沈丹青不会在意,对长胜投资集团来说,能用钱解决的问题都不是问题。

用纳米级芯片制造设备来制造十六位元芯片,难度当然很低了,初次制造,合格率就非常高,达到了53,不合格的芯片,不是工艺问题,而是化学蚀刻的原因。他们研究的这套化学蚀刻设备太过简单了,还缺少许多先进技术。他们釆用的是原始的自然蚀刻技术,因此造成的蚀边非常明显。化学蚀刻就是用化学药剂,溶解没有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻,就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。他们因为是第一次研制化学蚀刻设备,没有经验,以为只是一个纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备,以前4位元芯片的时候,人们就是使用这种技术。到如今当然已经不适用了。

得到了化学蚀刻出现问题之后,沈丹青非常重视,他立刻召集了相关科研单位商讨对策。

说实话,他们是第一次见到这个问题。用化学方法蚀刻这么微小的图形,本来就很神奇。现在却说这种方法不行,要另想办法。这可真的难住他们了,他们一时也没有了好办法。最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过,蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。因此对他们说:“试试干法蚀刻,或许要好许多。”

“老板,什么是干法蚀刻你能祥细的告诉我们吗”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢

“先声明啊我不懂具体原理。我只知道在一定的气压压力下,电浆离子与氧化硅或铜起反应或高速撞击,使之同样气态电离化,然后用抽气机抽走。又进行同样的步骤,直至蚀刻出我们需要的图形。这种方法能减少侵蚀,得到比较陡边的图形。应该来说会比湿法蚀刻好得多,也精密得多。不管怎么样大家先试试看吧”沈丹青将他所知道的只言片语讲了出来,具体的技术和方法就要他们去研究了。

“老板,具体点,是哪几种电浆,你知道吗”王波以希翼的语气问他。他自己也知道老板可能不知道,所以才用这样的语气请问他。

“我怎么知道我又不是科学家,我只不过是看到书上提到了几句,具体的原理和方法,还要你们自己去实验,我是帮不了的。”

果然不出王波所料,老板不知道。而且他还讲的理直气壮,也不知道他是从哪本书上看到的。要知道他们这些专业的科学家都不知道,也真是怪了。老板经常神神秘秘的,好多的先进技术,都是从他的嘴里讲出来的,虽然只有皮毛,但是起码有了方向,不再是一无所知。

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